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光学轮廓仪高效检测晶圆翘曲度
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szzhongtu5
发表于
2022-11-22 09:23:11
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智能拖地机器人,云鲸 NARWAL翘曲度是实测平面在空间中的弯曲程度,以翘曲量来表示,比如绝对平面的翘曲度为0。计算翘曲平面在高度方向最远的两点距离为最大翘曲变形量。
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智能拖地机器人,云鲸 NARWAL
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翘曲度计算公式:
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智能拖地机器人,云鲸 NARWAL
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晶圆翘曲度影响着晶圆直接键合质量,翘曲度越小,表面越平整,克服弹性变形所做的工就越小,晶圆也就越容易键合。晶圆翘曲度的测量既有高精度要求,同时也有要保留其表面的光洁度要求。所以传统的百分表、塞尺一类的测量工具和测量方法都无法使用。
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以白光干涉技术为原理的SuperViewW1光学轮廓仪,专用于超精密加工领域,其分辨率可达0.1nm。非接触高精密光学测量方式,不会划伤甚至破坏工件,不仅能进行更高精度测量,在整个测量过程还不会触碰到表面影响光洁度,能保留完整的晶圆片表面形貌。测量工序效率高,直接在屏幕上了解当前晶圆翘曲度、平面度、平整度的数据。
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SuperViewW1光学3D表面轮廓仪
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光学轮廓仪测量优势:
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1、非接触式测量:避免物件受损。
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2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-10mm。
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3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
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4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
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5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
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6、扫描仪:采用闭环控制系统。
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7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
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8、测量软件:基于windows操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
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(30)
baohui9109
发表于 2022-11-22 09:57:09
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火钳留名~~
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彭世玄
发表于 2022-11-22 09:56:08
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帮帮顶顶!!
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吴待川
发表于 2022-11-22 09:56:06
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小弟混脸熟,~混脸熟~
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覃侃eytc
发表于 2022-11-22 09:55:42
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不错,支持下楼主
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云业圣
发表于 2022-11-22 09:54:40
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LZ说的很不错
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zhy0105202
发表于 2022-11-22 09:54:38
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有没有微信群啊
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冰咖啡
发表于 2022-11-22 09:54:01
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楼主的帖子实在是写得太好了。文笔流畅,修辞得体,深得魏晋诸朝遗风,更将唐风宋骨发扬得入木三分,能在有生之年看见楼主的这个帖子。实在是我三生之幸啊。看完楼主的这个帖子之后,我竟产生出一种无以名之的悲痛感——啊,这么好的帖子,如果将来我再也看不到了,那么不是浪费楼主的心血吗?经过痛苦的思想斗争,我终于下定决心,牺牲小我,奉献大我。我要拿出这帖子奉献给世人赏阅,我要把这个帖子一直往上顶,往上顶!顶到所有人都看到为止!
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jkcp2632
发表于 2022-11-22 09:50:42
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谢谢,资料不错
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威廉制
发表于 2022-11-22 09:50:41
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谢谢楼主,共同发展
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