激光干涉仪测量五轴机床倾斜误差

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　　激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，是高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。

　　SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

　　激光干涉仪主要的应用之一就是机床精度检测，今天小编就给大家介绍一下如何用SJ6000激光干涉仪测量五轴机床的平移轴角度误差。

平移轴角度误差

　　五轴机床每根平移轴有三个角度误差，一个滚动误差和两个倾斜误差。对于滚动误差，激光干涉仪无法测得，需要用其他设备实现，而倾斜误差，均可以激光干涉仪获得。角度测量配置主要由SJ6000主机、角度镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足±10°范围内的角度测量。

　　角度反射镜与待测的运动轴相连，角度干涉镜是静止安装。激光头射出一束光至角度干涉镜，其内部的分光镜将光束分成两部分，一部分直接通过干涉镜，并从角度反射镜的某一半反射回激光头（参考光束 A1）。另一条光束则通过角度干涉镜的角度分光镜，传到角度反射镜的另一半，角度反射镜使光束通过干涉镜返回到激光头（测量光束 A2）。当倾斜误差发生时，角度反射镜会有俯仰等运动，即角度反射镜会相对于固定的角度干涉镜发生小角度的旋转。这会导致两条光束的光程不一致，其差值即可获取角度误差的大小。

▲ 角度测量的光路原理构建图

▲ 运动轴的俯仰角度测量示意图

▲ 运动轴的偏摆角度测量示意图

附：SJ6000激光干涉仪角度测量精度

轴向量程：(0~15)m

测量范围：±10°

测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

测量分辨力：0.1″

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