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[经验分享] 光学轮廓仪高效检测晶圆翘曲度

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szzhongtu5 发表于 2022-11-22 09:23:11 [显示全部楼层] 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式 回复:  30 浏览:  54
本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 翘曲度是实测平面在空间中的弯曲程度,以翘曲量来表示,比如绝对平面的翘曲度为0。计算翘曲平面在高度方向最远的两点距离为最大翘曲变形量。
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本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 翘曲度计算公式:
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智能拖地机器人,云鲸 NARWAL 本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 晶圆翘曲度影响着晶圆直接键合质量,翘曲度越小,表面越平整,克服弹性变形所做的工就越小,晶圆也就越容易键合。晶圆翘曲度的测量既有高精度要求,同时也有要保留其表面的光洁度要求。所以传统的百分表、塞尺一类的测量工具和测量方法都无法使用。
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本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 智能拖地机器人,云鲸 NARWAL以白光干涉技术为原理的SuperViewW1光学轮廓仪,专用于超精密加工领域,其分辨率可达0.1nm。非接触高精密光学测量方式,不会划伤甚至破坏工件,不仅能进行更高精度测量,在整个测量过程还不会触碰到表面影响光洁度,能保留完整的晶圆片表面形貌。测量工序效率高,直接在屏幕上了解当前晶圆翘曲度、平面度、平整度的数据。
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本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 SuperViewW1光学3D表面轮廓仪
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智能拖地机器人,云鲸 NARWAL 本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 光学轮廓仪测量优势:
智能拖地机器人,云鲸 NARWAL 智能拖地机器人,云鲸 NARWAL1、非接触式测量:避免物件受损。
智能拖地机器人,云鲸 NARWAL 本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-10mm。
本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 智能拖地机器人,云鲸 NARWAL3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
智能拖地机器人,云鲸 NARWAL 本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
智能拖地机器人,云鲸 NARWAL 智能拖地机器人,云鲸 NARWAL6、扫描仪:采用闭环控制系统。
本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 智能拖地机器人,云鲸 NARWAL7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 本网站官方群 工业工程5000人群号 249148633 8、测量软件:基于windows操作系统的用户界面,强大而快速的运算。工业工程网 www.chinaie.net
jungle 发表于 2022-11-22 09:23:48 显示全部楼层
新人求罩
覃征岫 发表于 2022-11-22 09:24:40 显示全部楼层
谢谢楼主的信息
bruo4233 发表于 2022-11-22 09:25:50 显示全部楼层
楼主资料能打包分享吗
谢直 发表于 2022-11-22 09:26:42 显示全部楼层
相当不错,感谢无私分享精神!
方村有 发表于 2022-11-22 09:26:42 显示全部楼层
难得一见的好帖
efan505 发表于 2022-11-22 09:27:09 显示全部楼层
LZ说的很不错
cen1543 发表于 2022-11-22 09:28:59 显示全部楼层
帮你顶下哈!!
yr435608026 发表于 2022-11-22 09:28:59 显示全部楼层
加油!加油~
lzp 发表于 2022-11-22 09:29:00 显示全部楼层
路过,学习下
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