设备可靠性、有效性和可维护性测试规范

资讯 163 0 2012-7-21 10:18

中] 1. 目的 1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性（可靠性、有效性、可维护性）的标准，为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。 2. 范围　　2.1 这份文献定义了设备的6种基 ...

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