摘要: 中] 1. 目的 1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性（可靠性、有效性、可维护性）的标准，为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。 2. 范围 　　2.1 这份文献定义了设备的6种基 ...